光学自由曲面具有强大的矫正像差和优化系统结构的能力,被誉为现代光学系统的变革性元件。但是,自由曲面面形过于复杂,其高精度检测存在巨大的难度,这限制了自由曲面面形的制造水平,其大规模应用也受到限制。目前,光学自由曲面的检测技术主要是从非球面检测技术发展而来的。回顾了近年来光学自由曲面检测方法的发展历程,着重分析了几种典型的检测方法及其特点,并展望了自由曲面检测技术的未来发展趋势。
基本信息
| 题目 | 光学自由曲面面形检测方法进展与展望 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 作者 | 朱日宏,孙越,沈华 |
| 作者单位 | 南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京理工大学先进固体激光工业和信息化部重点实验室 |
| 文献来源 | 光学学报 2021年01期 |
| 发表年份 | 2021 |
| 学科分类 | 基础科学 |
| 专业分类 | 物理学 |
| 基金 | 国家自然科学基金(61775096),装备发展部预研领域基金(61404140105) |
| 分类号 | O436 |
| 关键词 | 测量,光学自由曲面,面形检测,轮廓法,结构光,干涉法 |
| 页码： | 161-178 |
| 总页数： | 18 |
| 文件大小： | 7617K |
论文目录
| 1 引 言 |
| 2 光学自由曲面的高精度检测方法 |
| 2.1 点线式测量 |
| 2.1.1 三坐标测量机法 |
| 2.1.2 轮廓仪法 |
| 2.1.3 摆臂式轮廓扫描法 |
| 2.2 面式测量 |
| 2.2.1 夏克-哈特曼波前检测法 |
| 2.2.2 结构光三维测量法 |
| 2.2.3 干涉测量法 |
| 2.2.3.1 计算全息法 |
| 2.2.3.2 部分零位补偿法 |
| 2.2.3.3 子孔径拼接法 |
| 2.2.3.4 倾斜波面法 |
| 3 结束语 |
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